| 실험환경 | 장비명 | 제작사(모델명) | 장비사진 |
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증착 및 에칭 |
플라즈마가속화학기상 증착기 (PE-CVD) | 에스엔텍 (SCS-5000) |
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| 저압화학증착기 (LP-CVD System) | 에스엔텍 (LCS-5000) |
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| DC/RF 스퍼터 시스템 | 에스엔텍 (RSP-5004) |
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| DC/RF Sputtering SYSTEM | 에스엔텍 (MSP-5002) |
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| 열/전자빔 증착기 시스템 (Thermal/Electron Beam Evaporator) | 에스엔텍 (MEP-5000) |
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| 펄스레이저증착시스템 | 코리아바큠테크 (KVP-2000) |
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| 고주파플라즈마반응성이온식각장치 (ICP-RIE System) | 에스엔텍 (IPS-5000) |
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| 급속열처리장치 (Rapid Thermal Annealing) | 에스엔텍 (RTP-5000) |
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| 다기능플라즈마처리시스템 (Advanced Plasma System) | 에스엔텍 (ARS-5000) |
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| ICP-MS | |||
| MOCVD |
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| Atomic Layer Deposition System | 아이이에스 (SAVER-IMP) |
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| 인쇄전자 | Rench Top R2R System | 아이이에스 (SAVER-IMP) |
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| Inkjet Circuit Printer | Dimatix (DMP-2831) |
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| ELECTROSPRAY | 나노엔씨 (ESR200R2D) |
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| 마이크로웨이브합성장치 | 영인과학 (927060) |
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| 튜브형전기로 | 대흥과학 (DTF-60300-12PTFS) |
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| 압력용기 4대 | 일신오토클레이브 (150ml Pressure Vessel) |
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| MINI VESSEL (High Pressure High Temperature Vessel) | 일신오토클레이브 (BOLT CLOSURE TYPE) |
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| 프리츠유성형볼밀 | 태명과학 (PULVERISETTE6외) |
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| 나노분산기 (NANO DISPERSER) | 일신오토클레이브 (ISA-N-30A) |
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| 분석용저울 (XP Analytical Balances) | BK테크놀리지 (XP105DR) |
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| 초순수제조장치 (D.I. Water Purification) | 영화과학 |
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| DISPENSER (나노분산기) | 아이넥서스 (730700외) |
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| 오토클레이브 | 일신오토클레이브 (ISA-OAC-SS-300-20) |
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| HEATING MANTLE | 동서과학 (MS-DMS634) |
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| Lithography | 마스크리스패터닝시스템 | Nano Sys. Solutions (D-LIGHT DL-1000) |
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| UV CROSSLINKER | 프로타젠 (BLX365) |
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| 마스크얼라이너 | 마이다스시스템 (MDA-60MS) |
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| Ashing System | 에스엔텍 |
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| 수조후드 (Water Sink Hood) | 삼흥기계공사 (CT-FH1800) |
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| 광학현미경 | |||
| 측정 | 주사전자현미경 (Mini-SEM) | 코셈 (CX-200TA외) |
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| 자동표면적 및 가공분석기 (BET) | 한국에이티아이 (AUTOSORB-IQ-MP) |
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| 전기화학분석시스템 | 에이티프론티어 (VMC-4) |
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| PH/ORP 측정기 | 동서과학 (CYBERSCAN PH1500) |
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| ALPHA-STEP | KLA TEC (D-100) |
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| Picoammeter |
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| NanoVoltmeter |
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| 시편처리 | 이구자동연마기 (Twin Auto Polisher) | R&B |
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| 시편제작용절단기 | (DIAMOND SAW) |
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| Glass scriber | |||
| MUFFLE FURNACE | 대흥과학 (DF-5) |
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| Vacuum Oven | 대흥과학 (DVO-64-N) |
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| 아날로그초음파세척기 | 대한이화학 (WUC-A03H) |
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| 정밀항온수조 | 대한이화학 (WB-22) |
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| Drying Oven | 세종플러스 (125L) |
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| 원심분리기 | 비전랩사이언스 (MEGA17R) |
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| 글로브박스 | 고려기연 (KK-021-AS) |
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| 대기압플라즈마발생장치 | 펨토사이언스 (PLAMI-ALPHA) |
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| Ultrasonic Cleaner | 대일테크 |
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| 액상화학작업대 (WET STATION) | 씨엔에스엔지니어링 (CSWT-M61) |
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| 수조후드 (Water Sink Hood) | 삼흥기계공사 (CT-FH1800) |
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| Hot Plate & Stirrer 4대 | 동서과학 (MSH-30D) |
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| PELCO VACUUM PICK-UP SYSTEM | 프로타젠 (5201220) |
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| VACUUM DESSICATOR | 프로타젠 (DC1030210) |
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| Die Bonder | |||
| Wire Bonder |