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제목
플라즈마 디스플레이 패널용 유전체 보호 코팅층 및 그의 제조 방법
출원인
학교법인연세대학교
출원일
1997.05.23
공개일
1998.12.05
게시글 내용
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 유전체 보호 코팅층의 물성을 조정하여 이차 전자 방출 계수 값을 높이기 위한 것으로, 세슘 산화물, 세슘 질화물 또는 세슘 탄화물이 그 박막의 내부 또는 외부에 포함된 MgO-Cs 계 박막으로, 상기 박막의 이차 전자 방출 계수 값이 향상된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 유전체 보호 코팅층과, MgO 타겟에 세슘 이온 건 스퍼터링 증착 장치를 이용하여 세슘 이온을 조사하여 기판 상에 MgO-Cs 계 박막을 형성하는 단계; 상기 MgO-Cs 계 박막을 산소 분위기, 질소 분위기 또는 탄화수소 분위기에서 열처리하여 상기 박막에 존재하는 세슘의 산화물, 질화물 또는 탄화물을 형성시키는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 유전체 보호 코팅층의 제조 방법을 제공하여 대면적 증착을 가능하게 한다.
첨부
공개전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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