본 발명은 ICBD 혹은 MBE와 같은 물리적 방법을 이용한 물질 증착 방법에 있어서, 대면적 증착 방법 및 그 시스템에 관련된 것이다. 본 발명은 증착물질을 담은 소스를 2차원을 이루는 서로 직교하는 두 개의 좌표축 상에서 임의로 이동하면서 상기 소스와 일정거리 떨어져 설치된 기판 위에 박막을 증착하는 대면적 증착법을 제공한다. 따라서, 본 발명은 증착물질을 담은 소스와, 상기 소스에서 분사된 증착물질이 임의의 2차원 공간의 모든 위치를 지적할 수 있는 좌표계와, 상기 좌표축 상에서 상기 소스를 이동 시킬수 있는 구동 수단을 포함하는 대면적 증착 시스템을 제공한다.
