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제목
주사 전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터
출원인
학교법인연세대학교
공고일
2003.05.22
출원일
2000.06.30
공개일
2002.01.10
게시글 내용
 본 발명은 주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터에 관한 것으로서 디스크 회전수단을 설치하여 디스크가 저속회전이 가능하도록 함과 셈(SEM) 내부의 스테이지 상부에 핀 고정부를 설치하여 시편과 소정의 각도를 유지하도록 하여 핀과 디스크 접촉점에서 일어나는 현상을 실시간으로 관찰할 수 있도록 한 것이다.본 발명은 시편을 설치하는 디스크가 설치된 핀 온 디스크장치와 시편의 상태를 검출하는 신호출력장치로 이루어진 셈과; 상기 신호출력장치와 연결되어 검출된 신호를 문자로 출력하는 데이터출력장치로 이루어진 주사전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터에 있어서, 상기 디스크를 저속으로 회전시키는 디스크회전수단 (10)과; 상기 저속으로 회전하는 디스크의 상부에 설치된 시편과 접촉하는 핀을 고정하면서 스테이지가 삽착되는 스테이지 고정부를 형성하여 셈의 내부에 설치되는 핀 고정부와(40); 상기 신호출력장치에 의해 검출된 신호를 영상과 데이터로 출력하는 디스플레이수단(70)을 포함하여 이루어진 특징이 있다.주사전자현미경, 마찰시험장치, 마멸시험장치, 디스크회전장치, 마찰마멸측정장치

주사 전자현미경내에서의 마찰 마멸 실험 및 가시화를 구현한 마이크로 트리보 테스터 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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