본 발명은 미소 하중이 작용하는 미소기계요소에서 마찰 마멸현상이 발생하는 두 재료간의 미끄럼 접촉시 저 마찰 마멸현상을 실현할 수 있는 미소기계요소의 파손 저감을 위한 공기베어링이 형성된 부싱에 관한 것으로서, 상기 공기베어링의 하중을 지지하는 베어링면에 형성된 부싱의 형상을 실린더 또는 사각형 형태의 기둥 형상으로 그 단면이 운동방향에 대하여 쐐기가 형성되도록 테이퍼를 형성한 형상으로 형성한 것 및 마멸입자에 의한 파손을 저감시키기 위하여 언듈레이션이 형성된 것을 특징으로 하는 미소기계요소의 파손 저감을 위한 공기베어링이 형성된 부싱을 제공한다.부싱(Bushing), 미소전기기계시스템(MEMS), 언듈레이션(Undulation)