토포그래픽 프리패턴 및 제어된 디웨팅을 통한 고분자 박막의 나노패터닝 방법 및 이로부터 제조된 고분자 박막
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2008.10.17
공개일
2010.04.27
게시글 내용
본 발명은 프리패턴(pre-pattern)에 고분자 용액을 스핀코팅한 후, 열처리를 하여 프리패턴의 일정한 패턴 영역 내에서만 디웨팅(dewetting)이 일어나 나노 패턴화가 이루어지는 것으로서, 대면적에 걸쳐 일정한 패턴으로 배향된 나노구조의 고분자 박막을 제조할 수 있는 비-리소그래픽(non-lithographic) 방법 중의 한 가지이다. 디웨팅, 폴리스타이렌, 폴리(4-비닐 피리딘), 나노, 고분자박막, 패터닝
