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산학협력단

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제목
졸-겔 공정과 롤투롤 공정을 이용한 전자 소자 제조 방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2009.05.26
공개일
2010.12.06
게시글 내용
 본 발명의 일 측면에 따른 졸-겔 공정을 이용한 전자 소자 제조 방법은, 산화물 반도체 기반의 졸 용액, 산화물 절연체 기반의 졸 용액 및 산화물 전도체 기반의 졸 용액 중 어느 하나의 산화물 졸 용액을 준비하는 단계; 상기 준비된 졸 용액을 인쇄롤의 표면에 패턴으로 제공하는 단계; 상기 표면에 졸 용액이 제공된 인쇄롤을 기판 상으로 압인하여 상기 인쇄롤 표면에 제공된 졸 용액의 패턴을 상기 기판 상에 전사하는 단계; 및 상기 기판 상에 전사된 졸 용액의 패턴을 건조 및 가열하여 상기 기판 상에 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 박막 트랜지스터, 졸-겔

졸-겔 공정과 롤투롤 공정을 이용한 전자 소자 제조 방법 대표 이미지

첨부
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  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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