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산학협력단

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제목
복수의 나노 로드가 전자 이동용 채널로 제공되는 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2011.06.08
공개일
2012.12.18
게시글 내용
본 발명은 소스 및 드레인 전극으로서 Al, Ti과 같은 오믹 금속을 사용하고 FET의 채널로 ZnO를 사용하면서도 오믹 금속과 ZnO의 화학반응으로 인한 불순물 생성을 방지할 수 있는 구조의 전계 효과 트랜지스터를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 전계 효과 트랜지스터의 제조방법은: 나노 로드 형성용 모기판 위에서 랜덤 네트워크 구조를 갖는 복수의 나노 로드를 성장시키는 단계; 소정의 패턴으로 패터닝된 나노 로드 픽업용 플레이트를 형성하는 단계; 상기 나노 로드 픽업용 플레이트를 이용하여 상기 복수의 나노 로드 중 적어도 일부의 나노 로드를 픽업하는 단계; 및 상기 적어도 일부의 나노 로드가 픽업된 픽업용 플레이트를 소스 전극 및 드레인 전극이 패터닝된 기판 위에 프린팅(printing)하여, 상기 적어도 일부의 나노 로드를 상기 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 위치시키는 단계를 포함한다. 

복수의 나노 로드가 전자 이동용 채널로 제공되는 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
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    (033-760-5251 ~ 5252 / WJDGHKSA@yonsei.ac.kr)