제목

나노 구조체의 제조 방법, 이를 이용한 패턴의 제조 방법 및 이를 수행하는 제조 장치

출원인

삼성디스플레이 주식회사, 연세대학교 산학협력단

출원일

2011.09.21

공개일

2013.03.29

게시글 내용

제조 공정의 신뢰성을 향상시킨 나노 구조체의 제조 방법 및 패턴의 제조 방법에서, 베이스 기판 상에 중성층을 형성하고, 중성층 상에 블록 공중합체를 포함하는 박막을 형성한 후, 박막을 공용매(cosolvent)를 이용하여 어닐링하여 나노 블록들을 형성한다.

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