튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 ＯＥＳ 장치, 그 ＯＥＳ 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 소자 제조방법
출원인
삼성전자주식회사, 연세대학교 산학협력단
공고일
2022.06.30
출원일
2015.09.08
공개일
2017.03.16
게시글 내용
본 발명의 기술적 사상은 플라즈마 공정에서의 플라즈마 상태를 정밀하게 검출하는데 이용할 수 있는 튜브형 렌즈, 그 튜브형 렌즈를 포함한 OES 장치, OES 장치를 포함한 플라즈마 모니터링 시스템 및 그 시스템을 이용한 반도체 제조방법을 제공한다. 그 튜브형 렌즈는 원통형 튜브; 광이 입사하는 상기 튜브의 입구 쪽에 배치되고, 중심 영역으로 상기 광의 투과가 차단된 제1 렌즈; 및 상기 광이 출사하는 상기 튜브의 출구 쪽에 배치된 제2 렌즈;를 포함한다.
