제목

박막트랜지스터 기판, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 장치의 제조 방법

출원인

삼성디스플레이 주식회사, 연세대학교 산학협력단

공고일

2022.09.02

출원일

2017.09.05

공개일

2019.03.14

게시글 내용

 박막트랜지스터 기판의 제조 방법은 베이스 기판 상에 게이트 전극을 형성하고, 베이스 기판 상에 게이트 전극을 덮는 게이트 절연막을 형성하며, 게이트 절연막에 자외선을 조사하는 동시에 게이트 절연막을 열처리하는, 자외선 조사 및 열처리 동시 공정을 수행하고, 게이트 절연막 상에 게이트 전극과 중첩하는 액티브 패턴을 형성하며, 그리고 게이트 절연막 상에 액티브 패턴과 전기적으로 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 

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