본 발명은 고감도 유량 측정 센서에 관한 것이다. 상기 유량 측정 센서는, 실리콘층 상에 형성된 액티브층 내에 서로 이격되도록 배치되어 열을 발생시키는 제1 및 제2 히터, 상기 액티브층 내에서 상기 제1 및 제2 히터 사이에 배치되고, 양단의 온도 차이를 감지하여 전압 신호로 변환하는 온도 센서, 및 상기 액티브층 내에 형성되고, 상기 온도 센서로부터 수신한 상기 전압 신호의 피드백 신호를 상기 제1 및 제2 히터에 전달하는 제어 회로를 포함하되, 상기 제어 회로는, 상기 온도 센서로부터 상기 전압 신호를 입력받고, 필터링을 통해, 출력되는 신호의 차수를 증가시키는 전자 필터(Electrical Filter)를 포함한다.
