제목

질량 분석 장치, 질량 분석 방법 및 반도체 웨이퍼의 분석 방법

출원인

삼성전자주식회사, 연세대학교 산학협력단

공고일

2023.01.20

출원일

2018.03.06

공개일

2019.09.18

게시글 내용

 국부적인 저분자량 피분석물의 분석이 가능한 질량 분석 장치, 질량 분석 방법 및 반도체 웨이퍼의 분석 방법이 제공된다. 질량 분석 장치는, 유기물을 포함하는 반도체 웨이퍼가 배치되는 플레이트, 반도체 웨이퍼 상의 소정의 영역에, ZnO-그래핀 하이브리드를 제공하는 하이브리드 제공부, 및 레이저 탈착/이온화 질량 분석법(LDI-MS)을 이용하여, 소정의 영역에서 유기물을 검출하는 질량 분석부를 포함한다. 

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