제목

점착성 폴리머를 이용한 산화물 박막 트랜지스터의 제조 방법

출원인

연세대학교 산학협력단

공고일

2020.06.23

출원일

2018.08.31

공개일

2020.03.10

게시글 내용

 점착성 폴리머를 이용한 산화물 박막 트랜지스터의 제조 기술에 관한 것으로, 일실시예에 따른 산화물 박막 트랜지스터는 기판과, 기판 상에 형성된 게이트 전극과, 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연막과, 점착성 폴리머의 기계적 박리 공정에 의해 형성되는 라디컬의 산소와의 반응 및 열처리를 통해 활성화되고 게이트 절연막 상에 형성되는 산화물 박막 및 산화물 박막 상에 형성된 소스 및 드레인 전극을 포함한다. 

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