- 제목
- 산화물 반도체 박막 트랜지스터
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 공고일
- 2020.10.12
- 출원일
- 2018.12.07
- 공개일
- 2020.06.17
- 게시글 내용
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본 발명은 유도층을 포함하는 산화물 반도체 박막 트랜지스터에 관한 것으로서, 게이트 전극, 게이트 절연층, 유도층, 채널층, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 유도층은 도체 또는 절연체 중 적어도 하나의 물질이 증착되고, 채널층이 증착된 후 열처리를 통해 산화되며, 채널층과의 접합 부위에서 채널층의 산소를 흡수하여 채널층의 전기적 특성을 향상시키는 기술에 관한 것이다.
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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