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산학협력단

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제목
산화물 반도체 박막 트랜지스터
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2020.09.02
출원일
2018.12.07
공개일
2020.06.17
게시글 내용
 본 발명은 다기능 이종접합 유기 패시베이션층(multi-functional heterogeneous organic passivation layer)을 포함하는 산화물 반도체 박막 트랜지스터에 관한 것으로서, 본 발명의 일실시예에 따르면 산화물 반도체 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 절연층, 채널층, 소스 전극, 드레인 전극, 제1 패시베이션층 및 제2 패시베이션층을 포함하고, 상기 제1 패시베이션층은 상기 채널층, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 상에 수직 증착되어 형성되고, 외부의 빛에 의해 생성된 캐리어(carrier)가 상기 채널층으로 이동하는 것을 방지하는 밴드 갭(band gap)을 갖는 유기물질을 이용하여 형성되며, 상기 제2 패시베이션층은 상기 제1 패시베이션층 상에 수직 증착되어 형성되고, 소수성을 나타내며, 외부의 물분자 및 산소와의 흡착 및 탈착을 방지하는 유기물질을 이용하여 형성하는 기술에 관한 것이다. 

산화물 반도체 박막 트랜지스터 대표 이미지

첨부
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  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
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    (033-760-5251 ~ 5252 / WJDGHKSA@yonsei.ac.kr)