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산학협력단

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제목
열처리를 이용한 현수형 나노와이어의 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2021.07.06
출원일
2019.05.28
공개일
2020.12.08
게시글 내용
 본 발명은 MEMS 플랫폼과 열처리를 이용한 현수형 나노와이어의 제조방법에 관한 것으로, 마이크로 갭을 가지는 MEMS 플랫폼을 준비하는 단계; MEMS 플랫폼에 폴리머 용액를 전기방사하여 복수의 나노급 폴리머선을 형성하는 단계; 열처리를 통해 복수의 나노급 폴리머선을 뭉치게 하여 폴리머 나노와이어를 형성하는 단계; 폴리머 나노와이어에 금속 물질을 증착시키는 단계; 및 폴리머 나노와이어를 제거하는 단계;를 포함한다. 본 발명에 따른 현수형 나노와이어의 제조방법은 MEMS 플랫폼과 열처리를 이용함으로써, 나노와이어가 형성되는 위치 및 형성되는 나노와이어의 개수를 조절할 수 있다. 

열처리를 이용한 현수형 나노와이어의 제조방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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