본 발명은 전기화학적 물질 반응의 영역제한을 통하여 선택 영역에서만 패턴 형성을 위한 반응이 일어나도록 하여 효율적인 패턴 형성이 가능하도록 한 전기화학적 물질 반응의 영역제한을 이용하는 패턴 형성 장치 및 방법에 관한 것으로, 양각의 패턴들을 갖고, 목표 기판에 접촉되는 부분에는 양각의 패턴과 목표 기판의 패턴 형성 영역과의 이격 거리 유지를 위한 갭층(Gap Layer)을 갖는 반응 유도 템플릿;반응 유도시에 화학물질 증기 환경을 유지하기 위한 화학물질 증기 공급을 하는 화학물질 증기 공급 장치;일측 전원 공급 단자는 목표 기판에 연결되고 타측 전원 공급 단자는 반응 유도 템플릿에 연결되는 전원 공급 장치;를 포함하고,목표 기판과 반응 유도 템플릿에 전압을 인가하면, 반응 유도 템플릿의 양각의 패턴에 의해 목표 기판의 패턴 형성 영역에 화학물질이 응집되고 전하 유도가 이루어져 전기화학반응을 일으키는 것이다.