본 발명에 따른 금 기판 상에 형성된 산화 몰리브덴 박막의 구조 분석 방법은 제1원리를 이용한 밀도범함수법을 통해 밀러 지수 기준 (h, k, l)에서 h, k 및 l이 각각 1 또는 0인 저지수 결정면을 표면으로 갖는 금(Au) 기판 표면에서 금과 합금화된 몰리브덴이 산소와의 결합에 의해 탈합금화되며 생성되는 1 내지 20 Å의 두께의 산화 몰리브덴 박막의 모사 구조가 도출되는 단계, 상기 모사 구조별 열역학적 물성값이 산출되는 단계 및 상기 산출된 열역학적 물성 값을 기준으로 안정 구조가 선별되는 단계를 포함한다.
