- 제목
- 쇼트키 배리어 조절을 통한 이차원 전이금속 칼코겐화합물 가스 센서 및 그 제조 방법
- 출원인
- 연세대학교 산학협력단
- 공고일
- 2021.03.30
- 출원일
- 2019.07.02
- 공개일
- 2021.01.12
- 게시글 내용
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본 실시예들은 기판에 전도층을 형성하고, 상기 전도층에 전극을 증착하며, 상기 전도층과 상기 전극에서 발생하는 쇼트키 배리어 높이를 기반으로 가스의 반응도를 변화시켜 상기 가스를 선택적으로 검출하는 쇼트키 배리어 조절을 통한 센서 반응성을 향상시킬 수 있는 이차원 전이금속 칼코겐화합물 가스 센서 및 그 제조 방법을 제공한다.
- 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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