본 발명의 실시예에 따른 기판 제조공정에 필요한 공정 제어정보 생성 장치는, 제조하고자 하는 기판에 속하는 영역들의 스케일과 관련된 목표 스케일 정보 및 상기 기판을 제조하기 위한 적어도 하나의 장비에 대한 공정 파라미터 정보를 입력 받는 입력부, 상기 목표 스케일 정보 및 상기 공정 파라미터 정보를 기초로 복수개의 레이어들을 이용하여 상기 기판을 제조하기 위한 공정에 필요한 제1 공정 제어정보를 생성하는 생성망 및 상기 제1 공정 제어정보 및 트레이닝 데이터인 제2 공정 제어정보를 기초로 학습함에 따라 상기 제1 공정 제어정보에 대한 평가 결과를 도출하는 판별망을 포함할 수 있다.