본 발명은 기판을 세정하는 방법을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 기판 세정 방법은 용액 및 극성을 띠는 고분자 수지가 포함된 액상 또는 졸상의 세정액을 기판에 공급하는 단계와; 액상 또는 졸상의 세정액을 제1 열처리를 통해 상변이시켜 겔화함으로써 파티클을 트랩하는 단계와; 파티클을 트랩한 겔 상태의 세정액을 제2 열처리를 통해 상변이시켜 액화 또는 졸화하는 단계와; 액상 또는 졸상으로 상변이된 세정액을 린스액을 공급하여 제거하는 단계를 포함한다.