제목

전기장 셰이핑 장치 및 전기장을 이용한 타겟 처리 장치

출원인

연세대학교 산학협력단

공고일

2021.11.05

출원일

2020.02.25

공개일

2021.09.02

게시글 내용

 본 실시예에 의한 전기장 셰이핑 장치는 기판과, 기판 상에 위치하는 제1 전극과, 제1 전극과 이격된 제2 전극과, 제1 전극과 제2 전극에 전압을 제공하는 전원(power source) 및 제1 전극을 코팅(coating)하는 절연체(insulating material)를 포함하며, 절연체는 제1 전극과 제2 전극 사이에 형성되는 전기장을 셰이핑하는 하나 이상의 홀(hole)들이 형성된다. 

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