패턴화된 금속 나노구 어레이층의 제조방법, 이를 포함하는 전자 소자의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전자 소자
출원인
연세대학교 산학협력단, 성균관대학교산학협력단
공고일
2021.08.05
출원일
2020.04.01
게시글 내용
본 발명은 패턴화된 금속 나노구 어레이층의 제조방법, 이를 포함하는 전자 소자의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전자 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 상에 복수의 금속 나노구 입자들이 단층으로 형성되어 있되, 일정간격 서로 이격되어 배열된 하나 이상의 홀을 포함하는 금속 나노구 어레이층을 제조함으로써 이를 전자 소자에 적용 시 근접장의 상호작용을 유도하고 전극 표면의 전자기장을 증폭시켜 플라즈몬 유도 공명에너지 전달 또는 열전자 전달 현상을 향상시킬 수 있다.
