제목

폴리머 증착기 및 폴리머 증착 방법

출원인

연세대학교 산학협력단, (주)펨토사이언스

공고일

2022.08.18

출원일

2020.07.30

공개일

2022.02.08

게시글 내용

 본 발명의 실시예들은 기판 상에 폴리머를 증착하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 증착기는, 분말 형태의 폴리머로부터 기상 전구체를 생성하는 기화부; 및 상기 기화부에 연결되고, 상기 기화기로부터 공급된 상기 기상 전구체를 플라즈마를 이용하여 모노머로 분해하고, 상기 기판 상에서 상기 폴리머로 중합하여 상기 기판 상에 폴리머 막을 형성하는 성막부를 포함할 수 있다. 

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