본 실시예에 의한 스캔 체인 형성 방법은 스캔 체인(scan chain)을 형성하는 각 스캔 셀의 0 제어도(controllability) 및 1 제어도로부터 스캔 추정값을 연산하는 단계와, 스캔 추정값으로 스캔 셀들을 복수의 스캔 체인으로 파티셔닝 하는 단계와, 파티션된 각 스캔 체인 내의 각 스캔 셀들에 대하여 스캔 영향도(scan influence)를 연산하는 단계 및 파티션된 스캔 체인 내의 각 스캔 셀들을 스캔 영향도순으로 배치하여 스캔 체인을 형성하는 단계를 포함한다.