본 발명은 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 화학 공정의 최적화를 위한 분석장치에 있어서, 화학 공정에 사용되는 재료의 상태를 모니터링하기 위하여 전기적 신호를 감지하는 전극 소자; 및 전극 소자에 대한 전류 인가를 제어하고, 상기 재료로부터 측정되는 복수의 전극간 전기량을 감지하거나, 기준 전기량과 측정된 전기량간의 변위를 연산하기 위한 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치를 제공한다.
