본 발명은 반도성 금속 산화물 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Au가 증착된 SnO2 나노와이어에 화염 화학적 기상 증착법(FCVD, Flame Chemical Vapor Deposition)을 적용함으로써 제조된 O가 풍부한 O가 풍부한(O-riched) SnOx(여기서, x는 2 이상의 실수) 나노튜브 및 Sn이 풍부한(Sn-riched) Au 나노파티클을 포함하는 반도성 금속 산화물을 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 FCVD에 의해 제조된 반도성 금속 산화물은 모세관 현상을 일으켜 다양한 밴드갭을 가질 수 있으며, 본 발명에 따른 제조방법에 의해 재료의 구애를 받지 않고 원하는 반도체 밴드갭 특성을 부여할 수 있는 효과가 있다.
