제목

편심 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 정전기력 구동 2축 MEMS 자기장 센서 및 이의 제조방법

출원인

연세대학교 산학협력단, 가톨릭대학교 산학협력단

공고일

2023.12.19

출원일

2022.04.06

공개일

2023.10.13

게시글 내용

 본 발명은 편심 공진기와 전자기 인덕터를 포함하는 정전기력 구동 2축 마이크로 전기기계 시스템(Micro Electro Mechanical System, MEMS) 자기장 센서로서, 상기 자기장 센서는 특정 주파수를 갖는 구동 전압을 인가하여 상기 전자기 인덕터의 일축 방향에서 비틀림 공진이 구동되며, 상기 인가된 특정 주파수와 다른 주파수를 갖는 구동 전압을 인가하여 상기 전자기 인덕터의 일축과 수직한 타축 방향에서 비틀림 공진이 구동되는, 편심 공진기와 전자기 인덕터를 포함하는 정전기력 구동 2축 MEMS 자기장 센서를 제공한다. 

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