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산학협력단

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제목
마이크로 니들 제조기판 회전모듈, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비 및 이의 제어방법
출원인
연세대학교 산학협력단, 주식회사 주빅
공고일
2023.09.18
출원일
2022.11.02
공개일
2022.11.21
게시글 내용
 본 발명은 본 발명은 마이크로 니들의 생산을 자동화 시킬 수 있는 마이크로 니들 제조기판 회전모듈, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비 및 이의 제어방법에 관한 것으로서, 상기 베이스상에 설치되며, 플라즈마 처리된 기판을 반입하는 기판픽업부로부터 한 쌍의 기판을 서로 포개지도록 합착하는 기판 합착부까지 연장되는 레일; 상기 레일을 따라 이동되는 수평 슬라이더; 상하방향으로 승강되도록 상기 수평 슬라이더에 구비되는 상하 슬라이더; 상기 상하 슬라이더에 구비되어 상기 상하 슬라이더의 승강을 따라 같이 승강되도록 구비되는 척 회전모듈; 상기 척 회전모듈에 구비되어 상기 척 회전모듈의 회전에 따라 회전되며, 기판이 안착되어 흡착고정되는 척;을 포함하는, 마이크로 니들 제조기판 회전모듈이 제공된다. 

마이크로 니들 제조기판 회전모듈, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비 및 이의 제어방법 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
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    (033-760-5251 ~ 5252 / WJDGHKSA@yonsei.ac.kr)