층밀리기 간섭을 이용한 광부품 검사 장치가 개시되어 있다. 이 개시된 광부품 검사 장치는, 피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘; 상기 빔스프리터에 의해 투과된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 구성에 의해 측정도의 신뢰도를 향상시키고, 기구적으로 진동에 매우 강하도록 구조를 개선하여 대량의 양산부품의 평가에 적합하도록 한 것이다. 쐐기형 프리즘, 간섭계, 고체촬상소자, 광부품 측정, 위상천이, 층밀리기 간섭