나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이가 개시되어 있다. 이 개시된 나노 탐침 어레이는, 베이스에 형성된 복수개의 관통홀의 상부에 마련된 나노미터 너비를 갖는 복수개의 개구; 상기 복수개의 개구들을 덮도록 상기 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 제1 슬라이드;를 포함하여, 상기 각 개구들을 통해 순차적으로 또는 동시에 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다. 상기 구성에 의해 제작이 용이하고 구조가 간단한 나노 탐침 어레이를 제공할 수 있고, 이 나노 탐침 어레이를 이용하여 대면적 주사가 가능하며, 이층 구조의 나노 탐침 어레이를 이용하여 분해능을 향상시킬 수 있다.