광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경이 개시되어 있다. 이 개시된 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경은, 피검물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검물질로부터 나오는 광을 검출하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭광을 얻고, 이 간섭광을 검출하여 피검 물질의 내부 구조와 광위상을 측정할 수 있다.
