제목

비정질실리콘의 결정화방법 및 이를 이용한 박막트랜지스터의 제조방법

출원인

삼성디스플레이 주식회사, 연세대학교 산학협력단

출원일

2008.09.11

공개일

2010.03.19

게시글 내용

 비정질실리콘을 결정화하는 방법 및 이를 이용한 박막트랜지스터 기판 제조방법이 개시된다. 비정질실리콘 결정화방법에 따르면, 기판 위에 비정질실리콘층을 형성하고, 상기 비정질실리콘층 위에 유전층을 형성한다. 다음, 상기 유전층 위에 금속층과 터마이트를 순차적으로 형성한 후, 상기 기판에 열을 가하여 상기 터마이트를 반응시켜 상기 비정질실리콘층을 결정화한다. 터마이트, 테르밋, 결정화, 다결정실리콘, p-Si

첨부

공개전문PDF