본 발명은 용액 공정 산화물 박막 트랜지스터 (Oxide Thin Film Transistor)를 이용한 DNA 등의 바이오 물질검출 센서에 관한 것이다. 종래 여타의 박막 트랜지스터 바이오 센서 제조에 있어, 진공 증착 공정을 실시함에 따른 비용부담과 유기박막 트랜지스터 바이오 센서에 수반하는 환경과 열에 대한 취약성 문제를 모두 극복하기 위해, 본 발명은, 용액 공정에 기반한 산화물 박막 트랜지스터 바이오 센서를 제공하여, 신뢰성 (Reliability)과 재현성 (Reproducibility), 환경/열에 대한 우수성, 높은 전기적 특성을 지닌 고감도 바이오센서를 저비용으로 양산할 수 있게 제공하였다. 본 발명의 산화물 박막 트랜지스터 (Oxide Thin Film Transistor)의 노출된 채널 (Channel) 영역에 DNA 등을 고정 (immobilization)시키면, 이동도가 감소 되고, 그에 따라 채널 (Channel)에 흐르는 전류가 감소되는 현상을 통해 DNA 등의 존재 여부를 검출할 수 있다.