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산학협력단

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제목
리소그래피용 블록 공중합체 및 이를 이용한 리소그래피 방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2022.05.12
공개일
2023.11.22
게시글 내용
 본 발명은 자기 조립 및 자가 치유가 가능한 리소그래피용 블록 공중합체에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 실록산이 중합된 반복단위인 제1 블록; 및 알킬 아조벤젠 아크릴레이트가 중합된 반복단위인 제2 블록을 포함한다. 상기 알킬은 탄소수 1 내지 10의 직쇄 또는 분지쇄이고, 상기 실록산이 중합된 반복단위의 수(x)는 60 내지 80이고, 상기 알킬 아조벤젠 아크릴레이트가 중합된 반복단위의 수(y)는 15 내지 25이다. 상기 블록 공중합체는 실린더 상을 가진다. 

리소그래피용 블록 공중합체 및 이를 이용한 리소그래피 방법 대표 이미지

첨부
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  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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